تحدد هذه المواصفة القياسية الدولية المصطلحات المستخدمة في تطبيق المجهر الإلكتروني الماسح (SEM). فالمواصفة تتناول المفاهيم العامة والمحددة، المصنفة وفقًا للتسلسل الخاص بهم بصورة منتظمة، مع المصطلحات المحددة بالفعل مُسبقًا في المواصفة القياسية الدولية ISO 23833 المدرجة أيضًا إذا لزم الأمر. وتسري هذه المواصفة القياسية الدولية على جميع الوثائق القياسية المتعلقة بتطبيقات المجهر الإلكتروني الماسح. إضافة إلى ذلك، تسري بعض الفقرات الخاصة بهذه المواصفة القياسية الدولية على الوثائق ذات الصلة بالمجالات (مثال: EPMA و AEM وEDS) لتعريف المصطلحات المتعلقة بتلك المجالات.